Improved resolution of a projection lens by a phase shifting mask and a cover glass

• Y. Okamoto

• M. Ogita

収録刊行物

• 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告

  静岡大学大学院電子科学研究科研究報告 (26), 39-41, 2005-03

  浜松 : 静岡大学大学院電子科学研究科

キーワード

• laser beam
• interference

詳細情報

• CRID: 1520290882511053696
• NII論文ID: 40006997282
• NII書誌ID: AN00103168
• ISSN: 03885070
• NDL書誌ID: 7706311
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7706311
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles