圧電曲げ駆動式2次元光スキャナの最適構造設計--ミラーの変位角拡大と耐衝撃性向上のトレードオフ問題の解決

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  • アツデン マゲ クドウシキ 2ジゲン ヒカリ スキャナ ノ サイテキ コウゾウ セッケイ ミラー ノ ヘンイカク カクダイ ト タイショウゲキセイ コウジョウ ノ トレード オフ モンダイ ノ カイケツ

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