これからの表面処理　　大気圧プラズマによる最近の表面処理とＣＶＤコーティング技術

• 小駒 益弘

  上智大学 理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Advanced Technology for Surface Treatment and CVD Coating with Atmospheric Pressure Plasma
• 大気圧プラズマによる最近の表面処理とCVDコーティング技術
• タイキアツ プラズマ ニ ヨル サイキン ノ ヒョウメン ショリ ト CVD コーティング ギジュツ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 58 (12), 779-784, 2007

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Surface Treatment
• Thin Film Coating
• Powder
• Atmospheric Pressure Plasma

詳細情報

• CRID: 1390282679093585280
• NII論文ID: 40015750948
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.58.779
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD1cXjslalsQ%3D%3D
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 9293115
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9293115
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles