超音波デバイス 多層薄膜/金属電極/圧電基板構造高結合弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験

• 山之内 和彦

• 佐藤 悠介

書誌事項

タイトル別名

• チョウオンパ デバイス タソウ ハクマク キンゾク デンキョク アツデン キバン コウゾウ コウケツゴウ ダンセイ キョウカイハ ノ デンパン トクセイ オンド トクセイ ノ カイセキ ト ジッケン

収録刊行物

• 超音波techno / 超音波techno編集部 編

  超音波techno / 超音波techno編集部 編 21 (1), 84-89, 2009

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1521417755715544064
• NII論文ID: 40016444111
• NII書誌ID: AN10068970
• ISSN: 09162410
• NDL書誌ID: 9789864
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9789864
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles