a-Si:Hナノボール膜からのPL発光特性におけるアニール処理効果

• 斉藤 裕介

• 坂本 元

• 加藤 勇

書誌事項

タイトル別名

• a Si Hナノボール マク カラ ノ PL ハッコウ トクセイ ニ オケル アニール ショリ コウカ
• Annealing effect on photoluminescence characteristics of a-Si:H nanoball-films

収録刊行物

• プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS

  プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 17 (1), 67-72, 2009-06

  [茨木] : プラズマ応用科学会

キーワード

• Microwave plasma CVD
• a-Si:H nanoball-film
• Photoluminescence
• Oxidation
• Annealing

詳細情報

• CRID: 1520572358066661888
• NII論文ID: 40016816946
• NII書誌ID: AA12687461
• ISSN: 13403214
• NDL書誌ID: 10428107
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10428107
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10428107
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles