各種汎用ポリマーのC<sub>60</sub><sup>+</sup>イオンエッチング速度

  • 山脇 健太郎
    凸版印刷株式会社 製造・技術・研究本部 品質保証部 分析チーム
  • 野本 裕香
    凸版印刷株式会社 製造・技術・研究本部 品質保証部 分析チーム

書誌事項

タイトル別名
  • C<sub>60</sub><sup>+</sup> ion Etching Rates of Various Widely-used Polymers
  • 各種汎用ポリマーのC60[+]イオンエッチング速度[含 査読コメント]
  • カクシュ ハンヨウ ポリマー ノ C60 イオンエッチング ソクド ガン サドク コメント

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抄録

<p> メッシュ・レプリカ法により,各種汎用ポリマーのC60+イオンエッチング速度を求めた.ポリエチレン(PE)やポリプロピレン(PP),そしてポリエチレンテレフタレート(PET)の場合,結晶化度が異なるとエッチング速度が変化している事が分った.結晶化度によって変化すると考えられる表面硬度とエッチング速度との間にも良い相関が見られた.</p>

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