SIMSによる極浅不純物分布の高精度評価法 (特集 富士通プロダクトを支える分析・解析技術)  [in Japanese] High-precision evaluation of ultra-shallow impurity distributions by secondary ion mass spectrometry  [in Japanese]

Journal

Fujitsu  

Fujitsu 61(1), 2-7, 2010-01 

富士通

Codes

  • NII Article ID (NAID) :
    40016961785
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID) :
    AN00307510
  • Text Lang :
    JPN
  • Article Type :
    特集
  • ISSN :
    00162515
  • NDL Article ID :
    10561113
  • NDL Source Classification :
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL Call No. :
    Z16-229
  • Databases :
    NDL 

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