SIMSによる極浅不純物分布の高精度評価法 (特集 富士通プロダクトを支える分析・解析技術)  [in Japanese] High-precision evaluation of ultra-shallow impurity distributions by secondary ion mass spectrometry  [in Japanese]

Codes

• NII Article ID (NAID) :

  40016961785

• NII NACSIS-CAT ID (NCID) :

  AN00307510

• Text Lang :

  JPN

• Article Type :

  特集

• ISSN :

  00162515

• NDL Article ID :

  10561113

• NDL Source Classification :

  ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)

• NDL Call No. :

  Z16-229

• Databases :

  NDL