Fe/Si多層膜におけるイオン照射効果

• 坂本 勲

• 小池 正記

• 本多 茂男

書誌事項

タイトル別名

• Fe Si タソウ マク ニ オケル イオン ショウシャ コウカ

収録刊行物

• 法政大学イオンビーム工学研究所報告

  法政大学イオンビーム工学研究所報告 (29), 16-19, 2008

  小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所

詳細情報

• CRID: 1520290883540828160
• NII論文ID: 40017038678
• NII書誌ID: AN00354689
• ISSN: 02860201
• NDL書誌ID: 10624684
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10624684
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10624684
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles