人間×環境×マテソアル--ヒューマンアダプティブ・マテリアルの開拓(No.10)RFマグネトロンスパッタリング法によるZnO結晶性薄膜の作製とその光学特性

• 中山 正昭

書誌事項

タイトル別名

• ニンゲン カンキョウ マテソアル ヒューマンアダプティブ マテリアル ノ カイタク No 10 RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル ZnO ケッショウセイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ コウガク トクセイ
• Preparation of ZnO crystalline thin films by an RF magnetron sputtering method and their optical properties

収録刊行物

• 機能材料

  機能材料 30 (10), 49-55, 2010-10

  東京 : シーエムシー出版

詳細情報

• CRID: 1521699230316555008
• NII論文ID: 40017269214
• NII書誌ID: AN00360069
• ISSN: 02864835
• NDL書誌ID: 10808233
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10808233
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles