Cluster size dependence of SiO2 thin film formation by O2 gas cluster ion beams

• 間下 喬史

• 豊田 紀章

• 山田 公

Journal

• 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo

  兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2009年度 50-53, 2009

  姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室

Keywords

• Gas cluster ion beam
• Cluster size
• Thin film

Details

• CRID: 1520572359799386496
• NII Article ID: 40017412539
• NDL BIB ID: 10917851
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10917851
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10917851
• Text Lang: en
• NDL Source Classification:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles