MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ

• 羽根 一博

• 金森 義明

• 池田 太郎

書誌事項

タイトル別名

• MEMS カドウガタ シリコンサイセン カプラー ドウハロ スイッチ
• 特集 光MEMS技術の新展開
• トクシュウ ヒカリ MEMS ギジュツ ノ シン テンカイ

収録刊行物

• 光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact

  光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact 49 (8), 4-8, 2011-08

  東久留米 : 光学工業技術協会

詳細情報

• CRID: 1523388080419228800
• NII論文ID: 40018956961
• NII書誌ID: AN10075091
• ISSN: 09137289
• NDL書誌ID: 11209175
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/11209175
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11209175
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles