めっき浴管理の新しい方向性 : マルチタスク電気化学プローブを使用した電気めっき浴“健全性”の高速自動診断法

• アレキサンダー ジョワスキー

• ハンナ ウィキエル

• カズミエール ウィキエル

書誌事項

タイトル別名

• メッキ ヨク カンリ ノ アタラシイ ホウコウセイ : マルチタスク デンキ カガク プローブ オ シヨウ シタ デンキメッキ ヨク “ ケンゼンセイ " ノ コウソク ジドウ シンダンホウ
• New Directions in Plating Bath Control : Fast Automated Diagnosis of Electroplating Bath "Health" Using Multi-task Electrochemical Probe
• 小特集 めっきにおける分析技術(2)
• ショウトクシュウ メッキ ニ オケル ブンセキ ギジュツ(2)

収録刊行物

• 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan

  表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 63 (9), 571-575, 2012-09

  東京 : 表面技術協会

キーワード

• Copper Damascene
• Monitoring
• Voltamogram
• RTA

詳細情報

• CRID: 1520572358494643200
• NII論文ID: 40019432139
• NII書誌ID: AN1005202X
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 023979554
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023979554
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles