ミストを用いた薄膜作製法の開発と電子デバイス実証

• 川原村 敏幸

Bibliographic Information

Other Title

• ミスト オ モチイタ ハクマク サクセイホウ ノ カイハツ ト デンシ デバイス ジッショウ
• Development of Thin Film Growth Method using "Mist" and its Application Demonstrated by the Electrical Device
• 特集 酸化物半導体の新しい応用展開 : 酸化亜鉛,酸化ガリウム,さらに新しい材料を求めて
• トクシュウ サンカブツ ハンドウタイ ノ アタラシイ オウヨウ テンカイ : サンカ アエン,サンカ ガリウム,サラニ アタラシイ ザイリョウ オ モトメテ

Journal

• 機能材料

  機能材料 32 (12), 34-42, 2012-12

  東京 : シーエムシー出版

Details

• CRID: 1520010380618370304
• NII Article ID: 40019485339
• NII Book ID: AN00360069
• ISSN: 02864835
• NDL BIB ID: 024083951
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I024083951
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles