プロトンビームを用いた強誘電体微構造の作製

• 山口 正樹

• 渡辺 和貴

• 増田 陽一郎

書誌事項

タイトル別名

• プロトンビーム オ モチイタ キョウ ユウデンタイ ビコウゾウ ノ サクセイ
• Fabrication of Ferroelectric Microstructures by Proton Beam Irradiation
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ ・ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 112 (337), 113-117, 2012-12-07

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• マイクロパターン
• チタン酸ビスマス
• プロトンビーム
• オクチル酸金属塩
• Micro-Pattern
• Bismuth Titanate
• Proton Beam
• Metal-Octylate

詳細情報

• CRID: 1520009408748697600
• NII論文ID: 110009667313
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 024197494
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/024197494
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I024197494
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles