化学溶液堆積法による誘電体薄膜の作製

書誌事項

タイトル別名
  • カガク ヨウエキ タイセキホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ
  • Preparation of Dielectric Thin Films by Chemical Solution Deposition
  • 特集 低温合成による新材料創製 : 異分野横断で見える無機化学の可能性
  • トクシュウ テイオン ゴウセイ ニ ヨル シン ザイリョウ ソウセイ : イブンヤ オウダン デ ミエル ムキ カガク ノ カノウセイ

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収録刊行物

  • 機能材料

    機能材料 33 (1), 46-50, 2013-01

    東京 : シーエムシー出版

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