フッ素リサイクルに向けた半導体排ガス分解技術の開発

• 荘所 正中

• 井上 吾一

• 小池 国彦

書誌事項

タイトル別名

• フッソ リサイクル ニ ムケタ ハンドウタイ ハイガス ブンカイ ギジュツ ノ カイハツ
• Development of Semiconductor Exhaust Gas Decomposition for Fluorine Recycle System

収録刊行物

• 化学工学論文集

  化学工学論文集 39 (5・6), 452-457, 2013

  東京 : 化学工学会

キーワード

• 半導体排ガス
• 分解
• NF₃
• SiH₄
• リサイクル
• Semiconductor Exhaust Gas
• Decomposition
• Recycle

詳細情報

• CRID: 1520572358131041280
• NII論文ID: 40019954724
• NII書誌ID: AN00037234
• ISSN: 0386216X
• NDL書誌ID: 025169124
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025169124
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles