細穴内面へのプラズマCVD･DLCコーティング法の最前線

• 上坂 裕之

書誌事項

タイトル別名

• サイケツ ナイメン エ ノ プラズマ CVD ・ DLC コーティングホウ ノ サイゼンセン
• Frontier of Internal Plasma CVD and DLC Coating for Narrow Tubular Shape
• 特集 高機能材料表面を実現するトライボコーティング技術
• トクシュウ コウキノウ ザイリョウ ヒョウメン オ ジツゲン スル トライボコーティング ギジュツ

収録刊行物

• 機能材料

  機能材料 34 (2), 38-46, 2014-02

  東京 : シーエムシー出版

詳細情報

• CRID: 1521699230294475136
• NII論文ID: 40019971596
• NII書誌ID: AN00360069
• ISSN: 02864835
• NDL書誌ID: 025196750
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025196750
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles