X線光電子分光法

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タイトル別名
  • X-Ray Photoelectron Spectroscopy
  • 最新表面科学講座(第21講)X線光電子分光法
  • サイシン ヒョウメン カガク コウザ(ダイ21コウ)Xセン コウデンシ ブンコウホウ

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抄録

X線光電子分光法(XPS:X-ray Photoelectron Spectroscopy,またはESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)は,固体表面数nm(数十原子層)の深さ領域における化学情報を分析する手法であり,今日最も広く用いられている表面分析手法の一つである。 本稿では,XPSの簡単な原理,測定法および応用例について概説した。

収録刊行物

  • 色材協会誌

    色材協会誌 87 (2), 59-63, 2014

    一般社団法人 色材協会

被引用文献 (2)*注記

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