ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究

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タイトル別名
  • Study on micromachining using diamond array tool
  • ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第3報)FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工
  • ダイヤモンドアレイ コウグ オ モチイタ マイクロ カコウ ニ カンスル ケンキュウ(ダイ3ポウ)FIB ニ ヨリ センエイカ シタ カコウヨウ AFM カンチレバー オ モチイタ ビサイ V ミゾカコウ
  • 第３報：FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工
  • 3<sup>rd</sup> report : Machining of micro V-groove using sharpened cutting edge of AFM cantilever by FIB

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抄録

本研究では，原子間力顕微鏡（AFM）機構と加工用AFMカンチレバーを用いて，微細かつ高精細なV溝加工を行うことを目的としている．本報では，集束イオンビームを用いて，ダイヤモンド切れ刃の先端角，すくい角，横すくい角を設けた加工用AFMカンチレバーを作製し，Ni-P合金に対して溝加工実験を行い，切れ刃形状が加工溝性状に及ぼす影響について検討を行った．その結果，先端角35°，すくい角0°の切れ刃を有する加工用AFMカンチレバーは，切れ刃断面形状を精度よく転写した微細V溝加工が可能であった．さらに，正の横すくい角を設けることにより，加工溝の盛り上がりを低減させることができた．

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