圧電振動による微粒子励振型空気流量制御弁(第10報)シリンダ速度制御実験

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  • アツデン シンドウ ニ ヨル ビリュウシレイシンガタ クウキ リュウリョウ セイギョベン(ダイ10ポウ)シリンダ ソクド セイギョ ジッケン
  • Flow Control Valve for Pneumatic Actuators Using Particle Excitation by PZT Vibrator

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