書誌事項
- タイトル別名
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- Study of New Removal Technique by Use of Magnetic Polishing Method for Copper Overhang Generated in the Direct Laser Via Process
- ダイレクトレーザービア コウテイ ニ オイテ ハッセイ スル ドウ オーバーハング ノ ジキ ケンマホウ ニ ヨル シンキ ジョキョ ギジュツ ノ ケントウ
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抄録
近年,電子機器の小型軽量化に伴い外部配線と内部配線を接続するために,ビアホール,スルーホールと呼ばれる基板内にレーザー加工された孔が用いられる。しかし,基板にレーザーを照射した際に基板表面の銅層がレーザーの熱により溶融し,ビアホールの開口部に付着してしまい,オーバーハングと呼ばれる突起物が形成してしまう。このオーバーハングおよび飛散した銅が存在すると後工程でのめっきの密着性,積層時の安定性が低下するため除去が必要になる。本論文ではこのオーバーハングおよび飛散の銅の除去方法として,磁気研磨法に着目し,除去を試みた。
収録刊行物
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- エレクトロニクス実装学会誌
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エレクトロニクス実装学会誌 17 (4), 292-296, 2014
一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679536541440
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- NII論文ID
- 130004699631
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- NII書誌ID
- AA11231565
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BC2cXhslelu7rM
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- ISSN
- 1884121X
- 13439677
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- NDL書誌ID
- 025640977
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可