BCB貼り付けによるSi基板上集積導波路形半導体薄膜DFBレーザ

書誌事項

タイトル別名
  • BCB ハリツケ ニ ヨル Si キバン ジョウ シュウセキ ドウハロケイ ハンドウタイ ハクマク DFB レーザ
  • Integrated waveguide type membrane DFB lasers by BCB bonding on Si substrate
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

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