Control of residual stress in thin films by substrate vibration and their mechanical property

• Akihito Matsumuro

• Makoto Takagi

収録刊行物

• 愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編

  愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (16), 71-75, 2014-09

  豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所

詳細情報

• CRID: 1520853834688868096
• NII論文ID: 40020216749
• NII書誌ID: AA11484797
• ISSN: 13449672
• NDL書誌ID: 025822535
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025822535
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles