Fabrication and evaluation of single-crystal-silicon tunable grating using polymer-based membrane transfer bonding process

• Sawasdivorn Chernroj

• Hisayuki Ohnuma

• Tomohiro Suzuki

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 5p-, 2014-10

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• Micro-electro-mechanical systems (MEMS)
• Wavelength Selective Switch (WSS)
• Grating
• Mono-crystalline Silicon
• Polymer membrane transfer bonding

詳細情報

• CRID: 1520853832780444672
• NII論文ID: 40020268562
• NDL書誌ID: 025920544
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025920544
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025920544
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles