ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり

• 杉山 進

書誌事項

タイトル別名

• ピエゾ テイコウシキ ハンドウタイ アツリョク センサ ノ カイハツ ノ ミチノリ
• Road to Development of Piezoresistive Semiconductor Pressure Sensor

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1-6, 2014-10

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ
• ひずみゲージ
• マイクロマシニング
• 絶対圧型圧力センサ
• 拡散リード
• 受圧ダイアフラム
• 集積化センサ
• ガラス接合
• 温度補償
• piezorezistive semiconductor pressure sensor
• strain gage
• micromachining
• absolute pressure sensor
• diffused lead
• pressure diaphragm
• integrated sensor
• grass bonding
• temperature compensation

詳細情報

• CRID: 1520009408577133184
• NII論文ID: 40020270511
• NDL書誌ID: 025923219
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025923219
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles