ゲート絶縁膜中フッ素による高信頼性a-InGaZnO TFTの実現

• 山﨑 はるか

• 石河 泰明

• 藤井 茉美

書誌事項

タイトル別名

• ゲート ゼツエンマク チュウ フッソ ニ ヨル コウシンライセイ a-InGaZnO TFT ノ ジツゲン
• Highly reliable a-InGaZnO thin-film transistors with fluorine in a gate insulator
• 光エレクトロニクス
• ヒカリ エレクトロニクス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115 (197), 9-11, 2015-08

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 薄膜トランジスタ
• a-IGZO
• ゲート絶縁膜
• 信頼性
• フッ素
• thin-film transistor
• gate insulator
• reliability
• fluorine

詳細情報

• CRID: 1520009407955181440
• NII論文ID: 40020589894
• NII論文ID: 40020589369
• NII論文ID: 40020589654
• NII論文ID: 40020589048
• NII論文ID: 40020588497
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 026741875
• NDL書誌ID: 026739819
• NDL書誌ID: 026741306
• NDL書誌ID: 026742318
• NDL書誌ID: 026740680
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026741875
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026739819
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026741306
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026742318
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026740680
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles