招待講演 マイクロ波励起プラズマによる立体構造体への等方均一注入技術

• 上田 博一

• ピーター ベントゼック

• 岡 正浩

Bibliographic Information

Other Title

• ショウタイ コウエン マイクロハレイキプラズマ ニ ヨル リッタイ コウゾウタイ エ ノ トウ カタ キンイツ チュウニュウ ギジュツ
• Radial line slot antenna microwave plasma source mediated conformal doping of non-planar silicon structures
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ ・ デバイス

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115 (280), 29-33, 2015-10

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• プラズマドーピング
• コンフォーマルドーピング
• 砒素注入
• Fin FET
• Siプロセス
• Plasma Doping
• Conformal Doping
• Arsenic doping
• Si Process

Details

• CRID: 1520009409203563648
• NII Article ID: 40020650387
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 026909082
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/026909082
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026909082
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles