Low Damage Depth Profiling and Removal of damaged Layer of Polymer Materials with Ar Gas Cluster Ion Beam

• Takuya Miyayama

• Noriaki Sanada

• Mineharu Suzuki

収録刊行物

• 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo

  兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 220-225, 2010

  姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室

詳細情報

• CRID: 1520009409833889792
• NII論文ID: 40020674974
• NDL書誌ID: 026978200
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/026978200
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026978200
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles