New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam

• Noriaki Toyoda

• Isao Yamada

収録刊行物

• 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo

  兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 27-29, 2012

  姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室

詳細情報

• CRID: 1520290884814071424
• NII論文ID: 40020675193
• NDL書誌ID: 026978468
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026978468
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles