ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価

• 轡田 浩規

• 渡辺 将

• 寒川 雅之

• 安部 隆

書誌事項

タイトル別名

• ガウシアン ケイジョウ AT カット スイショウ シンドウシ ノ サクセイ オヨビ ヒョウカ
• Evaluation and fabrication of Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-4, 2015-10

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• 水晶振動子
• 微粒子
• 反応性イオンエッチング
• 質量計測
• Quartz crystal resonator
• Microparticle
• RIE
• Mass measurement

詳細情報

• CRID: 1520572358635696640
• NII論文ID: 40020853534
• NDL書誌ID: 027425953
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027425953
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles