触媒反応支援CVD法による非極性ZnO結晶膜の成長

• 田島 諒一

• 池田 宗謙

• 叶内 慎吾

• 大石 耕一郎

• 片桐 裕則

• 玉山 泰宏

• 安井 寛治

書誌事項

タイトル別名

• ショクバイ ハンノウ シエン CVDホウ ニ ヨル ヒキョクセイ ZnO ケッショウマク ノ セイチョウ
• Non-polar ZnO film growth on r-plane sapphire substrate using high-temperature H₂O generated by a catalytic reaction
• 電子部品・材料 ; 材料・デバイス サマーミーティング
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ ; ザイリョウ ・ デバイス サマーミーティング

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 116 (100), 13-17, 2016-06-17

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 触媒反応
• 高エネルギーH₂O
• 非極性ZnO
• 異方性
• Catalytic reaction
• High-temperature H₂O beam
• Non-polar ZnO
• Anisotropy

詳細情報

• CRID: 1520009407436996736
• NII論文ID: 40020880920
• NII論文ID: 40020880724
• NII論文ID: 40020880823
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 027485406
• NDL書誌ID: 027485241
• NDL書誌ID: 027485549
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027485406
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027485241
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027485549
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles