反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ

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タイトル別名
  • ハンノウセイ イオンエッチング デ ケイセイ シタ コウミツド ナノチャネル オ モツ オンチップマイクロクヌーセンポンプ
  • On-Chip micro Knudsen pump having the dense nanochannels formed by Reactive Ion Etching
  • マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
  • マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン

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