フォトリソグラフィで製作するDEアクチュエータ駆動蠕動マイクロポンプの提案

• 嚴 祥仁

• 浅井 健太

• 宮田 航成

• 金 俊完

• 吉田 和弘

書誌事項

タイトル別名

• フォトリソグラフィ デ セイサク スル DE アクチュエータ クドウゼンドウ マイクロポンプ ノ テイアン
• Proposal of a DE actuator-driven peristaltic micropump fabricated by photolithography

収録刊行物

• フルードパワーシステム講演会講演論文集 = The proceedings Conference of Japan Fluid Power System Society

  フルードパワーシステム講演会講演論文集 = The proceedings Conference of Japan Fluid Power System Society 32-34, 2016

  東京 : 日本フルードパワーシステム学会

キーワード

• Dielectric elastomer actuator
• Peristaltic micropump
• Photolithography

詳細情報

• CRID: 1520009409763493888
• NII論文ID: 40020999524
• NDL書誌ID: 027733798
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027733798
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles