先端技術を支える 分析・解析・計測技術(No.4)プローブ顕微鏡"AFM5500M"による微小領域の三次元形状計測

• 脇山 茂

書誌事項

タイトル別名

• センタン ギジュツ オ ササエル ブンセキ ・ カイセキ ・ ケイソク ギジュツ(No.4)プローブ ケンビキョウ"AFM5500M"ニ ヨル ビショウ リョウイキ ノ サンジゲン ケイジョウ ケイソク

収録刊行物

• 工業材料 = Engineering materials

  工業材料 = Engineering materials 65 (3), 76-82, 2017-03

  東京 : 日刊工業新聞社

詳細情報

• CRID: 1520573329837190144
• NII論文ID: 40021096778
• NII書誌ID: AN00081076
• ISSN: 04522834
• NDL書誌ID: 027979481
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027979481
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles