書誌事項
- タイトル別名
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- Emerging Tech デバイス ジキ 「 iPhone 」 デ ワダイ ノ MSAP 30mmハバ プリント キバン オ リョウサン エ
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抄録
問題となるのは、配線層間をつなぐビアの部分だ。MSAPでは、めっきレジストを形成する工程(前述の(1))の前に、ビア穴を埋める(ビアフィル)めっきの土台となる無電解Cuめっきを施す必要がある。その際、一般に使われるのはPd(パラジウム)触媒である。
収録刊行物
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- 日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation
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日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation (1182), 51-56, 2017-08
東京 : 日経BP
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884042131328
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- NII論文ID
- 40021276056
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- NII書誌ID
- AN0018467X
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- ISSN
- 03851680
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- NDL書誌ID
- 028403784
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- Nikkei BP
- CiNii Articles