CMOSテラヘルツイメージング用オンチップアンテナの小型化

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  • Miniaturization of on-chip antenna for CMOS terahertz imaging
  • CMOS テラヘルツイメージングヨウ オンチップアンテナ ノ コガタカ

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抄録

近年、テラヘルツ電磁波を用いたイメージングに注目が集まっている。しかし、低コストかつ小型な検出器が未開発であり、本研究ではSi CMOSを用いたテラヘルツ検出器、およびイメージセンサの開発を行っている。本研究のイメージセンサはイメージングピクセル、AD変換器で構成されており、イメージングピクセルはオンチップアンテナ、包絡線検波回路として機能する増幅器で構成されている。テラヘルツ波を受信するためにマイクロストリップパッチアンテナを用いていたが、このアンテナは狭帯域であり、広い接地面が必要となる。ピクセルの小型化のため折り曲げ形状のオンチップスロットアンテナを導入し、利得を維持したまま広帯域化、小型化することに成功したので以下に報告する。

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