Fabrication and evaluation of nanoelectromechanical logical gates
書誌事項
- タイトル別名
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- ナノ電気機械ロジックスイッチの作製と評価
- ナノ デンキ キカイ ロジックスイッチ ノ サクセイ ト ヒョウカ
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-3, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan