NewSUBARUにおける汎用X線微細加工ビームライン(BL11)
書誌事項
- タイトル別名
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- NewSUBARU ニ オケル ハンヨウ Xセン ビサイ カコウ ビームライン(BL11)
- General-purpose x-ray microfabrication beamline (BL11) constructed at NewSUBARU
- 光・量子デバイス研究会 微細加工技術とバイオ・メディカル応用
- ヒカリ ・ リョウシ デバイス ケンキュウカイ ビサイ カコウ ギジュツ ト バイオ ・ メディカル オウヨウ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編]
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電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編] 2018 (22-30), 13-15, 2018-03-28
東京 : 電気学会