MVP法による超高速成膜・表面加工技術と細穴内面プラズマ成膜への展開

• 上坂 裕之

書誌事項

タイトル別名

• MVPホウ ニ ヨル チョウコウソクセイマク ・ ヒョウメン カコウ ギジュツ ト サイケツ ナイメン プラズマセイマク エ ノ テンカイ
• Ultra-high-speed Surface Manufacturing Employing MVP Method and its Application to Internal Plasma Coating of Narrow Holes
• 特集 プラズマ技術 ; 表面処理
• トクシュウ プラズマ ギジュツ ; ヒョウメン ショリ

収録刊行物

• 自動車技術 = Journal of Society of Automotive Engineers of Japan

  自動車技術 = Journal of Society of Automotive Engineers of Japan 72 (6), 68-73, 2018-06

  東京 : 自動車技術会

キーワード

• Production・Manufacture High-density plasma
• Surface manufacturing
• One-piece flow
• Microwave
• Narrow holes
• Plasma CVD
• Diamond-like carbon (DLC)

詳細情報

• CRID: 1520290884593172096
• NII論文ID: 40021594968
• NII書誌ID: AN00105899
• ISSN: 03857298
• NDL書誌ID: 029099740
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029099740
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN22(科学技術--運輸工学--自動車)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles