金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

• 丹羽 英二

• 林 晋也

• 須貝 一郎

• 野口 幸紀

• 飯島 高志

• 棚池 修

• 蛯名 武雄

書誌事項

タイトル別名

• キンゾク キザイ ハクマク センサ ソシヨウ トフ カタネンド ゼツエンマク
• Coating type clay insulating layer for metal base thin film sensor devices

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 6p-, 2018

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• 絶縁膜
• 粘土
• ステンレス
• 塗布
• ひずみセンサ
• Cr-N薄膜
• 平滑化
• insulating layer
• clay
• stainless steel
• coating
• strain sensor
• Cr-N thin film
• smoothing

詳細情報

• CRID: 1520572359278558848
• NII論文ID: 40021974924
• NDL書誌ID: 029902535
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029902535
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles