光-音響・熱放射法による半導体材料プロセス評価に関する研究

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著者

    • 中村, 弘通 ナカムラ, ヒロミチ

書誌事項

タイトル

光-音響・熱放射法による半導体材料プロセス評価に関する研究

著者名

中村, 弘通

著者別名

ナカムラ, ヒロミチ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3597号

学位授与年月日

1986-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000000638
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000000638
  • NDL書誌ID
    • 000000164950
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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