Studies on plasma processes for X-ray lithography X線リソグラフィにおけるプラズマプロセスに関する研究

この論文をさがす

著者

    • 堀, 勝 ホリ, マサル

書誌事項

タイトル

Studies on plasma processes for X-ray lithography

タイトル別名

X線リソグラフィにおけるプラズマプロセスに関する研究

著者名

堀, 勝

著者別名

ホリ, マサル

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1844号

学位授与年月日

1986-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000000976
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000000976
  • NDL書誌ID
    • 000000165288
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ