イオン照射下におけるシリサイド形成の機構の研究

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著者

    • 堀野, 裕治 ホリノ, ユウジ

書誌事項

タイトル

イオン照射下におけるシリサイド形成の機構の研究

著者名

堀野, 裕治

著者別名

ホリノ, ユウジ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1860号

学位授与年月日

1986-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000000992
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000000992
  • NDL書誌ID
    • 000000165304
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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