Fundamental research for the mass production and the quality improvements of silicon single crystals シリコン単結晶の大量成長技術と品質特性改善の基礎的研究

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著者

    • 阿部, 孝夫 アベ, タカオ

書誌事項

タイトル

Fundamental research for the mass production and the quality improvements of silicon single crystals

タイトル別名

シリコン単結晶の大量成長技術と品質特性改善の基礎的研究

著者名

阿部, 孝夫

著者別名

アベ, タカオ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2786号

学位授与年月日

1985-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000001677
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000001677
  • NDL書誌ID
    • 000000165991
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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