集束イオンビームによるマスクレス加工法に関する研究

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著者

    • 落合, 幸徳 オチアイ, ユキノリ

書誌事項

タイトル

集束イオンビームによるマスクレス加工法に関する研究

著者名

落合, 幸徳

著者別名

オチアイ, ユキノリ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3434号

学位授与年月日

1986-03-25

注記・抄録

博士論文

07294

博士(工学)

1986-03-25

大阪大学

14401第12345号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000003633
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000003633
  • NDL書誌ID
    • 000000167947
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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