高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究 コウシュウハ イオンプレーティング ホウ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
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Bibliographic Information
- Title
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高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究
- Other Title
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コウシュウハ イオンプレーティング ホウ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author
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柏木, 邦宏
- Author(Another name)
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カシワギ, クニヒロ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3775号
- Degree year
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1986-01-31
Note and Description
博士論文
