超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

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著者

    • 柏木, 忠 カシワキ, タダシ

書誌事項

タイトル

超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究

著者名

柏木, 忠

著者別名

カシワキ, タダシ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3910号

学位授与年月日

1986-05-23

注記・抄録

博士論文

07355

博士(工学)

1986-05-23

大阪大学

14401第12345号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000004715
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000004715
  • NDL書誌ID
    • 000000169029
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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