Studies on self-alignment metal-insulator-semiconductor processes 自己整合Metal-insulator-semiconductorプロセスに関する研究

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著者

    • 山内, 規義 ヤマウチ, ノリヨシ

書誌事項

タイトル

Studies on self-alignment metal-insulator-semiconductor processes

タイトル別名

自己整合Metal-insulator-semiconductorプロセスに関する研究

著者名

山内, 規義

著者別名

ヤマウチ, ノリヨシ

学位授与大学

九州大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3717号

学位授与年月日

1986-04-28

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005460
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005460
  • NDL書誌ID
    • 000000169774
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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