ランプ一体化装置による光CVD法に関する研究

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著者

    • 青田, 克己 アオタ, カツミ

書誌事項

タイトル

ランプ一体化装置による光CVD法に関する研究

著者名

青田, 克己

著者別名

アオタ, カツミ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4262号

学位授与年月日

1986-06-11

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005556
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005556
  • NDL書誌ID
    • 000000169870
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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