Mo系スパッタリング薄膜の性質とMOS LSIゲート電極への応用に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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Mo系スパッタリング薄膜の性質とMOS LSIゲート電極への応用に関する研究
- Author
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大藤, 晋一
- Author(Another name)
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オオフジ, シンイチ
- University
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早稲田大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第544号
- Degree year
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1986-02-19
Note and Description
博士論文
